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Thyracont VD8系列便攜式數(shù)字真空計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

一、Thyracont品牌核心優(yōu)勢(shì)

德國(guó)Thyracont成立于1970年，50余年專(zhuān)注真空測(cè)量技術(shù)創(chuàng)新，以高精度、耐用性及智能化為核心競(jìng)爭(zhēng)力。其產(chǎn)品融合傳統(tǒng)工藝與現(xiàn)代技術(shù)，例如首創(chuàng)的微型Pirani螺旋絲和寬量程組合傳感器，已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

。

二、核心產(chǎn)品系列與技術(shù)亮點(diǎn)

1. VD8系列便攜式數(shù)字真空計(jì)

型號(hào)覆蓋：

VD81：壓電原理，量程1600–1 mbar（粗真空）

VD83：皮拉尼原理，量程100–5×10?? mbar（中真空）

VD84：外置皮拉尼傳感器，螺旋電纜設(shè)計(jì)，適用于狹窄空間或多點(diǎn)檢測(cè)

VD85：壓電/皮拉尼組合傳感器，量程1200–5×10?? mbar（全真空覆蓋）

智能功能：

集成數(shù)據(jù)記錄器（存儲(chǔ)2000組數(shù)據(jù)），支持USB/藍(lán)牙傳輸

自動(dòng)關(guān)機(jī)節(jié)能模式，電池壽命長(zhǎng)達(dá)1000小時(shí)

VacuGraph軟件實(shí)時(shí)分析泄漏率、繪制泵送曲線，用于質(zhì)量審計(jì)

2. Smartline數(shù)字真空變送器

工業(yè)4.0適配：

支持Profinet/EtherCAT/RS485協(xié)議，兼容OPC UA服務(wù)器，實(shí)現(xiàn)云平臺(tái)數(shù)據(jù)互通

藍(lán)牙適配器SLKBT支持移動(dòng)端監(jiān)控（VacuSniff App，16通道同步報(bào)警）

可靠性設(shè)計(jì)：

過(guò)壓穩(wěn)定性達(dá)16巴，抗化學(xué)腐蝕陶瓷傳感器（部分型號(hào)）

即插即用傳感器頭更換，維護(hù)成本降低50%

3. 模擬真空傳感器（VSP系列）

精密工業(yè)場(chǎng)景適用：

微處理器控制+溫度補(bǔ)償，精度±0.3%滿(mǎn)量程。

4-20mA/0-10V輸出，IP54防護(hù)等級(jí)，耐160℃高溫

三、典型行業(yè)應(yīng)用案例

1. 半導(dǎo)體制造

需求：無(wú)塵室真空度控制（10??–10?1? mbar）。

方案：Smartline系列冷陰極傳感器（VSH）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)蝕刻腔室壓力，通過(guò)Profinet聯(lián)動(dòng)PLC調(diào)整工藝參數(shù)，避免晶圓污染

2. 真空干燥與冷凍干燥

需求：水分升華壓力精準(zhǔn)控制（1–10?3 mbar）。

方案：VD85記錄干燥曲線，VacuGraph軟件優(yōu)化降壓速率；VSP63MV耐蒸汽滅菌設(shè)計(jì)，適用于制藥行業(yè)

3. 真空爐與材料研究

需求：高溫?zé)o氧環(huán)境（1??–50 mbar）。

方案：Smartline傳感器實(shí)時(shí)阻斷氧氣滲入，繼電器開(kāi)關(guān)點(diǎn)聯(lián)動(dòng)應(yīng)急抽氣系統(tǒng)，保障高純度材料合成

4. 真空包裝與泄漏檢測(cè)

需求：密封完整性驗(yàn)證（10?2–1000 mbar）。

方案：VD81嵌入包裝線，數(shù)據(jù)記錄器統(tǒng)計(jì)密封壓力峰值，VacuGraph對(duì)比泄漏率趨勢(shì)，提升良品率30%

5. 特殊環(huán)境應(yīng)用

低溫檢測(cè)：VD84配合外部傳感器，監(jiān)控液氮罐真空絕緣層（-196℃環(huán)境）

四、技術(shù)認(rèn)證與可靠性

校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)：德國(guó)DKD實(shí)驗(yàn)室可追溯證書(shū)，氦檢漏率<5×10?1? mbar·L/s

耐久性：16巴過(guò)壓認(rèn)證（可選測(cè)試報(bào)告），平均無(wú)故障時(shí)間>10萬(wàn)小時(shí)