服務(wù)熱線
18842896417 0411-87307760
晶圓表面缺陷檢測需高強度均勻照明以識別微米級劃痕、顆粒污染及圖形畸變。傳統(tǒng)石英光纖束因光傳輸效率低（約30%-40%填充率）和端面散射問題，易導致：
照明均勻性不足（±15%以上）
紫外波段透射率衰減（<50%@340nm）
頻繁彎折引發(fā)光纖斷裂
參數(shù) | 3mm芯徑 | 5mm芯徑 | 檢測應(yīng)用價值 |
光譜范圍 | 340-800 nm | 340-800 nm | 覆蓋紫外缺陷激發(fā)至可見光成像 |
出光角度 | 72° | 72° | 實現(xiàn)晶圓全表面無死角照明 |
傳輸距離 | 30 m | 30 m | 靈活布局檢測設(shè)備 |
紫外透射率 | >85%@340 nm | >85%@340 nm | 提升微顆粒散射信噪比 |
光強均勻性 | ±3% | ±3% | 消除檢測圖像偽影 |
長期工作溫度 | -5℃ ~ +35℃ | -5℃ ~ +35℃ | 適配潔凈室恒溫環(huán)境 |
液態(tài)芯層折射率匹配液（n=1.46）實現(xiàn)全反射臨界角<28°
340nm紫外透射率>85%，支持DUV缺陷檢測（如193nm光刻膠殘留）
紅外截止特性（800nm后銳降）避免晶圓熱損傷
抗彎折壽命：10萬次彎曲（曲徑R=50mm）無衰減
（石英束<5000次即斷裂）
防漏液設(shè)計：多層聚合物管壁+激光焊接端頭，通過ISO Class 5潔凈度認證
環(huán)形光導選件可實現(xiàn)多角度照明，增強邊緣缺陷對比度
檢測指標 | 石英光纖束 | 380系列液芯光纖 | 提升效果 |
0.2μm顆粒捕獲率 | 78.2% | 95.6% | +22.3% |
劃傷識別一致性 | ±15% | ±5% | 波動降低67% |
紫外照明強度 | 42 mW/cm2 | 68 mW/cm2 | +62% |
維護周期 | 3個月 | 18個月 | 延長6倍 |
問題背景：
某半導體廠0.13μm工藝線，石英束照明導致線寬測量誤差超±8%
解決方案：
替換為Lumatec 380-5mm液芯光纖（長度8m）
終端加裝72°勻光透鏡
光源升級為300W氙燈
結(jié)果：
線寬量測一致性提升至±1.5%
缺陷檢測節(jié)拍從120片/小時提升至180片/小時
年維護成本降低37萬美元
限制因素 | 技術(shù)對策 |
溫度敏感性 | 集成熱電冷卻器(TEC)控溫±1℃ |
不可切割定制 | 預(yù)置標準長度+快速連接器方案 |
端面清潔要求 | 配套自動干冰清洗模塊 |
Lumatec 380系列液芯光纖通過液態(tài)全反射通道突破傳統(tǒng)光學局限，成為晶圓明場檢測的理想選擇：
340nm紫外高透射——激活微缺陷光學響應(yīng)
100%填充率——消除照明暗區(qū)
72°精準出光——匹配高NA物鏡景深
30米柔性傳輸——重構(gòu)設(shè)備空間布局
建議在以下場景優(yōu)先選用：
? 45nm以下制程的DUV檢測
? 300mm晶圓全域掃描系統(tǒng)
? 在線式高速檢測設(shè)備（＞150wafers/hour）
選型提示：
3mm芯徑：適用于局部高分辨率檢測（光斑直徑＜5mm）
5mm芯徑：推薦用于整片晶圓快速掃描
