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真空鐘擺閥是真空系統(tǒng)中控制介質(zhì)通斷的關(guān)鍵設(shè)備，其鐘擺式閥板通過氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)快速啟閉。該結(jié)構(gòu)對執(zhí)行器的響應(yīng)速度、動作精度及可靠性要求極高。傳統(tǒng)電磁閥因體積大、響應(yīng)延遲等問題，易導(dǎo)致閥門密封不到位或啟閉沖擊，影響真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
（依據(jù)附圖技術(shù)規(guī)格優(yōu)化）
參數(shù)項(xiàng) | 技術(shù)指標(biāo) | 應(yīng)用價值 |
閥體類型 | 兩位三通 (3/2-way) | 單閥實(shí)現(xiàn)氣缸雙向控制 |
接口尺寸 | 15 mm (帶O型圈密封排氣口) | 防泄漏設(shè)計(jì)，保障真空環(huán)境氣密性 |
響應(yīng)時間 | ≤15 ms | 匹配鐘擺閥毫秒級動作需求 |
工作壓力 | 4-7 bar (可定制擴(kuò)展) | 適配工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)氣源壓力 |
額定流量 | >50 L/min @ 5 bar | 驅(qū)動大口徑氣缸仍保持高速響應(yīng) |
電氣接口 | JST PHR-2 接插件 | 抗振動脫落，線長120mm便于布線 |
防護(hù)等級 | IP65 (標(biāo)準(zhǔn)) | 耐受工業(yè)環(huán)境粉塵與濕氣 |
微型化設(shè)計(jì)
閥體寬度僅18mm，重量<120g，可直接集成于執(zhí)行機(jī)構(gòu)腔體，減少管路壓降，提升系統(tǒng)剛性。
超動態(tài)響應(yīng)
先導(dǎo)式結(jié)構(gòu)配合低慣量電磁組件，啟閉時間控制在15ms內(nèi)，確保鐘擺閥達(dá)到：
全開/全閉周期≤0.1秒
位置重復(fù)精度±0.5°
高流量特性
50 L/min@5bar的流量能力，驅(qū)動φ63mm氣缸時理論速度可達(dá)300mm/s，滿足高頻次循環(huán)工況（如半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備每分鐘20次啟閉）。
真空環(huán)境適配
O型圈密封排氣口設(shè)計(jì)，避免傳統(tǒng)排氣孔引發(fā)的油霧反噴或顆粒侵入，符合ISO 8573-1 Class 2潔凈度要求。
參數(shù)項(xiàng) | 技術(shù)指標(biāo) | 應(yīng)用價值 |
閥體類型 | 兩位三通 (3/2-way) | 單閥實(shí)現(xiàn)氣缸雙向控制 |
接口尺寸 | 15 mm (帶O型圈密封排氣口) | 防泄漏設(shè)計(jì)，保障真空環(huán)境氣密性 |
響應(yīng)時間 | ≤15 ms | 匹配鐘擺閥毫秒級動作需求 |
工作壓力 | 4-7 bar (可定制擴(kuò)展) | 適配工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)氣源壓力 |
額定流量 | >50 L/min @ 5 bar | 驅(qū)動大口徑氣缸仍保持高速響應(yīng) |
電氣接口 | JST PHR-2 接插件 | 抗振動脫落，線長120mm便于布線 |
防護(hù)等級 | IP65 (標(biāo)準(zhǔn)) | 耐受工業(yè)環(huán)境粉塵與濕氣 |
微型化設(shè)計(jì)
閥體寬度僅18mm，重量<120g，可直接集成于執(zhí)行機(jī)構(gòu)腔體，減少管路壓降，提升系統(tǒng)剛性。
超動態(tài)響應(yīng)
先導(dǎo)式結(jié)構(gòu)配合低慣量電磁組件，啟閉時間控制在15ms內(nèi)，確保鐘擺閥達(dá)到：
全開/全閉周期≤0.1秒
位置重復(fù)精度±0.5°
高流量特性
50 L/min@5bar的流量能力，驅(qū)動φ63mm氣缸時理論速度可達(dá)300mm/s，滿足高頻次循環(huán)工況（如半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備每分鐘20次啟閉）。
真空環(huán)境適配
O型圈密封排氣口設(shè)計(jì)，避免傳統(tǒng)排氣孔引發(fā)的油霧反噴或顆粒侵入，符合ISO 8573-1 Class 2潔凈度要求。
安裝要點(diǎn)：
閥體直接安裝于氣缸G1/8接口，縮短氣路長度
JST接插件預(yù)涂導(dǎo)電膏，防止微電弧損壞
建議在供氣管路增設(shè)0.01μm精密過濾器
壓力波動抑制
在閥的供氣口加裝5cm3穩(wěn)壓腔，可減少壓力峰值對閥芯的沖擊
壽命延長措施
線圈工作電壓波動范圍控制在±10%
每50萬次動作后更換閥芯密封套件
Staiger VA 304-50x通過微型化結(jié)構(gòu)、毫秒級響應(yīng)及真空優(yōu)化設(shè)計(jì)，成功解決了真空鐘擺閥在高速精密控制中的三大痛點(diǎn)：
傳統(tǒng)電磁閥安裝空間受限
慢速響應(yīng)導(dǎo)致閥門抖動
排氣污染真空腔體風(fēng)險
